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特色设备

冷场发射扫描电子显微镜

冷场发射扫描电子显微镜

(SEM)
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设备描述

仪器名称:

冷场发射扫描电子显微镜(SEM)

 

仪器型号:

HITACHI (SU8100)

 

服务简介:

SEM高低倍照片:研究样品的形貌、结构;

EDS能谱:研究样品的元素分析。

 

技术指标:

• 二次电子分辨率:0.8 nm (加速电压 15 kV) (标准模式,非任何减速模式下)。

• 1.1 nm (加速电压 1 kV)(减速模式)。

• 放大倍数:20 到1000k。

• 加速电压:20-1000k。

• 电位移:±12μm(WD=8mm)。

• 光阑:4孔物镜活动光阑系统:内置自清洁装置(孔径30、50、50、100μm)。

• 探测器:低位(Lower)、高位(Upper)二次电子探测器、高位过滤背散射探头。

• 信号选择:二次电子像、背散射电子像、混合像。

• 快速换样系统:100mm直径大样品交换仓,换样时间30秒。

• 真空转移系统:日立原装真空转移系统。

• 能谱仪:布鲁克60mm2能谱。

 

功能特色:

1、加速电压减速功能,具有波长较短、像差较小、分辨力高的一系列优点,降低样品损伤的同时,可以获得低电压高分辨的图像。

2、SE/BSE信号按比例接收功能,电镜配有低位(Lower),高位(Upper)二次电子探测器,高位过滤背散射探头,可以通过改变透镜内变换电极的电压,让检测器捕捉到二次电子及背散射电子,以任意比例(100级)混合,达到最佳对比度的观察,抑制荷电、边缘效应,从而获得对比度最佳的SEM像。

 

应用范围:

 

 

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