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特色设备

离子减薄仪

离子减薄仪

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设备描述

仪器名称:

透射电镜样品制备设备

 

天目湖

 

型号695.C离子减薄仪(Gatan公司)

 

天目湖

 

功能包含:

1.离子枪:潘宁式离子枪,装载微小磁铁,聚焦离子束设计,无耗件。

2.减薄角度:+10°到-10°,每只离子枪可独立调节。

3.样品台旋转:样品台可以旋转,转速1~6 rpm可调。

4.样品台移动范围:载台可以实现X和Y方向的移动,移动范围:+/- 0.5mm。

5.离子枪束能量:0.1keV~8keV。可在不同电压下自动优化离子束束流。

6.离子束调制:可以进行角度选择性区域离子减薄减薄

7.样品更换:快速样品更换时间<1min,无需破减薄室真空

8.样品台:DouPost样品台以及装样器,方便快速更换样品以及实现双面减薄。

9.真空系统:无油机械泵+分子泵系统。

10.所需气体:氩气,操作压力25psi,无需水冷

11.冷台部分:带有液氮冷台,以及控温系统,一次加注液氮续航能力6~8小时。

12.控制部分:10英寸触摸屏控制,菜单化操作,并支持减薄程序的设定和储存。

13.配备环氧树脂胶、加热台以及铜管用于粉体颗粒样品的制备使用。

 

型号623手动研磨盘(Gatan公司)

 

天目湖

 

功能包含:

1.功能:对样品进行手动减薄;

2.具有测量厚度的功能;

3.配合不同型号的砂纸使用,可实现对样品的粗磨、细磨及抛光等工序;

4.包括热熔石蜡一套和不锈钢固定底座四个。

 

型号657.B凹坑仪(Gatan公司)

 

天目湖

 

功能包含:

1.增大薄区面积;

2.尤其适合脆性材料;

3.缩短离子减薄时间;

4.准确定位减薄位置;

5.边缘不减薄以方便样品的夹载;

6.也可直接完成TEM 样品制备工作;

7.具有自动终止和机械法两种终止方式。

 

型号IsoMet Low Speed低速锯切割机(美国Buehler公司)

 

天目湖

 

功能包含:

1.适用材料:半导体、陶瓷、地质等脆性材料;

2.切割厚度:<40um ~ 5mm (1cm、2cm也都可);

3.独有双目镜,尤其适合做横截面样品。

 

 

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